Funktionsschichten in LTCC-Keramiken
Forschungsbereich:
Funktionskeramiken
Forschungsschwerpunkt:
Technologien und Werkstoffe
Projektleitung:
Prof. Dr.
Jörg
Töpfer
Projektzeitraum:
01.09.2019
-
31.12.2022
Budget:
338.000,00 €
Förderungskennzeichen:
03WKDG01C
Forschungspartner:
5microns GmbH,
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH,
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS),
IMMS - Institut für Mikroelektronik- und Mechantronik-Systeme gGmbH,
LLT Applikation GmbH,
Lust Hybrid-Technik GmbH,
Micro-Hybrid-Electronic GmbH,
Siegert Thinfilm Technology GmbH,
Technische Universität (TU) Ilmenau,
VIA Electronic GmbH
Das Ziel des Teilprojektes liegt in der Entwicklung und Qualifizierung von in/auf die LTCC-Mehrlagenkeramiken mit integrierbarer keramischen Funktionsschichten. Dazu sind die ausgewählten funktionskeramischen Werkstoffe (Weichferrite, Dielektrika, Thermistoren) zu entwickeln und in ihrem Siterverhalten an den SiCer-Verbund anzupassen. Die Funktionsschichten sollen dabei folgende elektromagnetische Funktionen ermöglichen:
- Integrierte Ferritschichten als Abschirmungsschichten zur Reduzierung der Emission elektromagnetischer Störstrahlungen von SiCer Komponenten
- Integrierte Ferritschichten als magnetische Komponenten für induktive Anwendungen (Spulen, Transformator)
- Integrierte keramischen Kondensatorschichten als dielektrische Komponenten in LTCC-integrierten Kondensatoren
- Integrierte NTC-Thermistorschichten zur Temperaturmessung
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