ThZM: Weißlichtinterferometrie-System

Das übergeordnete Ziel des Vorhabens besteht in der Untersuchung von Einflussparametern im Schleifprozess auf die Topografie und Qualität bearbeiteter Oberflächen. Dazu sind auch die Kontrolle und die Auswertung der erzeugten Bauelemente sehr wichtig. Mit dem beantragten Messsystem wird die schnelle, präzise Erfassung beliebiger Flächen ermöglicht, wobei Ausprägungen und Verläufe von Strukturen auf Bauteiloberflächen messtechnisch erfasst und sichtbar gemacht werden können.

Das Vorhaben wird vom Freistaat Thüringen unter der Nummer 2022 IZN 0003 gefördert und durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) REACT-EU kofinanziert.